...数在102~103个 大规模集成电路(LSI)：晶体管数在103~105个 超大规模集成电路(VLSI)：晶体管数在105~107个 特大规模集成电路(ULSI)：晶体管数在107~109 巨大规模集成电路(GSI)：晶体管数超过109个?
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的今天是非常大的规模集成（VLSI）和 超大规模集成 （ ULSI ）电路。;半导体量子点和波纹量子线（量子点阵列）是设备，是目前正在研究，以了解更多关于这个过渡中的经典量子行为。
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ULSI Materials 积体电路相关材料
ULSI architecture ULSI架构
ulsi interconnect ulsi互连布线
ULSI架构 ULSI architecture
ULSI铜互连 copper interconnection in ULSI
ULSI CMP ULSI化学机械抛光
copper interconnection in ulsi ulsi铜互连
ulsi design 超大规模集成电路设计
ulsi circuit ulsi电路
Used for ULSI manufacturing line, semiconductors manufacturing plants and Ultra clean laboratory.
ULSI制造工厂、半导体制造工厂、超净实验室、研究室等。
Various CVD technologies for preparing low dielectric constant materials in ULSI circuits are summarized.
综述了制备uls I低介电常数材料的各种CVD技术。
Shift from al to Cu interconnects in Ultra-Large Scale Integrate (ULSI) is important for semiconductor industry.
利用铜代替铝作为超大规模集成电路的互连接线，代表了半导体工业的重要转变。
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