...度的深度 氧化物厚度测量 检测极限通常在~ 0.01 % 最小的分析面积是~10 µm 有限的具体有机物信息 超高真空（UHV）环境下样品兼容 链接六：二次离子质谱(SIMS) 二次离子质谱分析技术(SIMS)是用来检测低浓度掺杂剂和杂质的分析技术。
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