9 西安理工大学硕士学位论文 非平衡磁控溅射（UBMS）是在磁场中心用铁盘代替磁铁或者通过在靶外部放置通电线 圈产生磁场，使得垂直方向的磁场强度增强，而平行方向的磁场强度减弱，这...
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本文采用低压高频等离子浸没离子注入及氮化技术(HLPIII)对工业纯铁进行表面处理,进一步利用非平衡磁控溅射技术(UBMS) 在氮化的工业纯铁上制备了Ti/TiN多层膜,研究了复合处理后材料的机械性能以及抗腐蚀性能。
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研究结果表明：1)采用非平衡磁控溅射(Unbalanced Magnetron Sputtering, UBMS)技术沉积DLC膜时,靶电流对界面层厚度的影响占主导地位；当靶基距从102mm增至162mm时,薄膜界...
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