靠近基板端的氧化层称为 穿隧氧化层 ( Tunnel Oxide )， 通常较薄使电子容易穿隧，当元件执行 写入或抹除电荷时，都必须穿过此
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EPROM Tunnel Oxide EPROM隧道氧化层
altra-thin tunnel oxide 超薄隧道氧化层
floating-gate tunnel oxide 浮栅隧道氧化物
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The reliability of FLOTOX is correlative to the quality of the tunnel oxide.
FLOTOX的可靠性与隧穿氧化层的质量密切相关。
youdao
A thinner film does not deleteriously contribute to non-uniformities in a tunnel oxide.
较薄的薄膜不会在沟道氧化物中造成不好的不均匀性。
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