组合设备一般由加工模块(processing module,PM)、真空锁(load lock,LL)、搬运模块(transfer module,TM)、校准模块(aligner,AL)和冷却模块(cooler,CL)组成.各模块集成在密闭真空环境中,呈径向分布并由计算机控制.
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Heat Transfer Module 传热模块 ; 热传导模块 ; 热传递模块
data transfer module 数据传送模块 ; 资料传送模组
fiber transfer module 光纤传送模块
register transfer module [计] 寄存器传送模块
Synchronous Transfer Module 同步传递模块 ; 传递模块
data transfer module interface unit 数据传送模块界面单元
file transfer module 档案传送模块
synchronous transfer module STM 同步传输模式
information transfer module 信息传输模件
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