实验分别以四甲基二硅氧烷(TMDSO)和六甲基二硅氧 ..
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采用13.56MHz射频等离子体聚合装置,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)和四甲基硅氧烷(TMDSO)为单体、氧气以及氯气为反应气体、氩气为电离气体,在载玻片、单晶硅片、PET等基材上沉积硅氧氮薄膜。
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2.2化学蒸镀法化学蒸镀法是以液态的六甲苯二醚（HMDSO）、四甲基二硅烷（TMDSO）等有机硅化合物或气态的硅烷为原料，在真空室内通入作为载体的氦气和起氧化作用的氧气或氧化二氮（N2O），用高频电磁波（一般采用...
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