• 波前工程 - 引用次数：4

  So it is urgent to develop the wavefront engineering, and find a new technology to improve the resolution in photolithography.

  因此，有必要拓宽波前工程学的研究内容，发展光刻分辨率增强新技术和新方法。

  参考来源 - 分数傅立叶滤波改善光刻成像质量

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