薄膜体声波谐振器(Thin Film Bulk Acoustic Resonators)
Janine Conde10利用铁电薄膜具有高耦合系数的特性，在 PZT 薄膜上刻蚀制作了 1GHz 的薄膜体声波谐振器（TFBAR），当偏置电压为-15kV/cm 时器件表现最佳性能。
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