...统也有一些缺点，如:①所打在板面上 的光束不一定都很垂直，多少会呈现一些斜角，因此还需再加一种"远心透镜 "(TelecentricLense)来改正斜光，使尽可能的垂直于孔位;②电流计式反射镜 系统所能涵盖的区域不大，最多只能管到50mm*50mm，故还须靠XYTable 来移 换...
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