2.3.2 表面微加工(Surface Micromaching) 36-37 2.3.3 LIGA 37
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以硅为基础的微机械加工工艺往往归纳为两大类，即 表面微加工技术（Surface Micromaching）和体微加工技术（Bulk Miemmaching），表面微加工技术是把MEMS的 “机械（运动或传感）部分制作在沉积于硅晶体的表面膜上，然后使...
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