...压电驱动器（PZT）与其它类型的驱动方式相比具有以下优点I”］： a） 能够产生极其细小的位置变化，达到亚纳米（sub-nanometer）级，位移分辨率及定位精度 高。 b）压电效应只与电场有关，压电驱动器既不产生磁场，电不受之影响。
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Sub Nanometer 亚纳米
sub-nanometer roughness 亚纳米级粗糙度
sub nanometer empty glass bead 亚纳米超细空心微珠
Sub-nanometer scale planarization 亚纳米级平整
sub-nanometer hollow micro bead 亚纳米超细空心微珠
Sub-micron or nanometer speckle 亚微米
sub-micron to nanometer ferrates 纳米亚微米级铁酸盐
It is . a big problem to fabricate the VLS grating, considering its space increment varies within sub-nanometer.
变栅距光栅要求的栅距变化量为纳米、亚纳米数量级，这成为变栅距光栅制作的一个主要的技术难点。
参考来源 - 一种亚纳米级栅距变化量的变栅距光栅分度控制方法的研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
It is found that the calculating method accuracy may be improved from the level of nanometer to that of sub-nanometer.
结果表明，混合多步误差分离法可将计算方法的准确度由纳米级提高到亚纳米级。
The experiments show that the phase scanning method is right and innovative and the ability of the sub-nanometer space increment is reached.
实验结果表明，本文捉出的相位扫描方法原理正确，具有创新性，达到了变栅距光栅所要求的亚纳米级的栅距变化精度。
The integrated systems range up to several hundred micrometers, and its sensitivity reaches nanometer, sub-nanometer or even pico-meters (10-12 m).
本集成系统的量程高达几百个微米，而它的灵敏度却可以达到纳米、亚纳米，甚至皮米(10 - 12 m)。
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