auto-stopping layer 自停止层
An opening is formed at the second metal layer above the etch stop layer to expose the etch stopping layer.
在蚀刻停止层上方的第二金属层形成一开口，使蚀刻停止层暴露出来。
The invention discloses an etching stopping layer comprising a nitrogenous silicon carbide layer formed on a substrate and a silicon nitride layer formed on the silicon carbide layer.
本发明公开了一种刻蚀停止层，包括在衬底上形成的含氮的碳化硅 层，以及位于所述碳化硅层之上的氮化硅层。
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