该测量系统在迈克逊单频激光干涉仪的基础上采用自扫描光电二极管列阵（SSPDA）接收器件，将直流信号转换成交流信号、微处理机处理，具有波长自动补偿功能。
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This paper describes a new mono-frequency laser interferometer using a self-scanning photoelectric diode array (SSPDA) as the receiving device of laser interference fringes.
本文介绍一种采用自扫描光电二极管列阵(SSPDA)作为激光干涉条纹接收器的新型单频激光干涉仪。
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