sputter rate
溅射速率
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More attentions are paid to high Z materials because of their high melting point and low sputter rate, but such materials remain the problems of brittleness to which is harmful for their application.
高z材料因其高熔点和低溅射率近年来受到越来越多的关注，但是难熔材料的脆性等问题仍然是这类材料应用的一大障碍。
youdao
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