以下说明SiOxNy ARCs无机材料所具有比 旋涂 ( spin-on )之有机材料之一些优点︰ * 光学常数值(n及k)，可经由控制沉积参数微调(即可调之ARCs)，以适用一些特定应用及光阻[3]。
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目前研发中的低 介电常数材料有非常多种，依沉积方式可分为旋转涂布法(spin-on)及化学气相 沉积(CVD)两大类5，而在此我们从蚀刻的角度来将其分为无机类与有机类两大 种，如表一所示。
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arsenic spin on solution 涂布的砷溶液
Spin-on PR Coating 旋转涂胶
Spin on glass 旋涂玻璃 ; 旋制氧化硅 ; 一旋涂式玻璃层
Spin-on Filter 旋入式过滤器 ; 旋入式滤清器
Spin-on Oil Filter 旋装滤油器 ; 旋装式机油滤清器
HYDRAULIC SPIN-ON 液压自旋 ; 液压旋转对
spin-on glass 旋涂式玻璃法 ; 旋涂玻璃法 ; 有一旋涂玻璃
Fuel spin-on Filter 旋装燃油滤清器
spin-on-dopant 用液态旋涂磷源
To improve the physico-chemical properties,the spin-on low-k films are treated by NH_3 plasma.
为了改进旋涂低k薄膜的性质,论文研究了NH_3等离子体表面处理对低k薄膜化学性质的影响。
参考来源 - 基于SiOC低k介质及其掺杂薄膜的研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
以上来源于: WordNet
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