... spacing deviation 定距偏差 限位偏差 spacing dimension 间距尺寸 spacing drill 宽垅播种机 ...
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spacing fractal dimension 孔隙大小分形维数
The complexity of IC increases, the feature and spacing dimension in the design become smaller.
集成电路的复杂度越来越高，最小线宽和最小间距变得越来越小。
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