宽带等离子系统登场 美国科学家最近采用软性干涉光刻技术(soft interference lithography, SIL)，制作出高质量的周期性金属纳米结 构，且该结构的对称性可以透过设计加以调整。
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宽带等离子系统登场 美国科学家最近采用软性干涉光刻技术(soft interference lithography, SIL)，制作出高质量的周期性金属纳米结 构，且该结构的对称性可以透过设计加以调整。
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Soft X-ray interference lithography 软X射线干涉光刻
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