硅酸盐的化学性子：化学上，指由硅和氧构成的化合物(SixOy)，偶然亦包罗一或多种金属和或氢。发起多明白一下硅酸盐的一些有关性子，如许有利于知识拓展。
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依据原始氧含量及器件热执掌温度:氧沉淀(SixOy)能够成为吸除缺陷中心。为了获得稳定的吸除缺陷才气，相比看为了获得稳定的吸除缺陷能力。
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在所述基体外表面覆有一含氧硅化物(SixOy)的镀层。
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[0049] 栅绝缘层3 采用SixNy( 氮化硅) 或者SixOy( 氧化硅) 等硅系列材料； [0050] 半导体层4 和欧姆接触层5 组合形成有源层；其中，半导体层4 采用a-Si( 非晶
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