停止层或蚀刻停止层3可保护其下方的层，蚀 刻停止层3可包括氮化硅(SixNy)、氮氧化硅(SiON)、碳化硅(SiC)、 碳氧化硅(SiOC) 、 二氧化硅、热氧化物、以四乙基硅酸盐(TEOS)作为 反应气体的氧化物或其他材料...
基于102个网页-相关网页
，按照目前的制造，该装置由夹在所有这些趴在薄的低应力的氮化硅膜（SixNy）的电极之间的压电材料的氮化铝（AlN）。膜集成在小的微型加热器的频率调谐和/或温度稳定。
基于24个网页-相关网页
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动