所述陈化方法包括以下步骤：在操作等离子体设备执行等离子体工艺前、测量在等离子体设备的工艺室中出现的基于硅氧化物(SiOX)的化学物种的光发射强度与基于碳氟化物化合物(CFY)的化学物种的光发射强度的比；确定所测量的光发射强度比的值是否在正常状态的预...
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