Si 纳 米线 ( SiNW )作为一类重要的一维半导体纳米材料,在场发射特性、电子输运特性、光荧光以及热传导特性等方向与体材料有着显著的不同。
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欢迎访问《半导体学报》网站! 关键词: 硅纳米线,应力,悬臂梁,MEMS[gap=743]Keywords: SiNW stress cantilever MEMS
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