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liquid phase siliconization 液相渗Si
wall siliconization 器壁硅化
siliconization of wall 器壁硅化
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ULQ plasma with fine confinement and high temperature is obtained after wall carbonization and siliconization.
真空室壁经过碳化、硅化等处理得到高温度稳定约束的ULQ等离子体。
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