不过这次EOC的科学家则使用了一种名为“硅升华”( silicon sublimation)的工艺技术,这种技术能将基体表面硅碳化合物中的硅元素移除,这样便能直接在基体的表面生成一层纯净的石墨薄膜。
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silicon sublimation process 硅升华工艺
silicon sublimation
硅升华
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