• 硅光栅 - 引用次数：6

  A method to make blazed silicon gratings is designed. The fabrication of (100) and (111) silicon wafer grating is performed by bulk silicon techniques.

  设计了一种制作闪耀硅光栅的方法，利用体硅加工技术分别进行了(100)面硅片和(111)面硅片光栅的制作，对光栅的表面进行了测试。

  参考来源 - 用于生化分析的光谱仪微小型化的研究

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