• 硅深刻蚀工艺 - 引用次数：4

  Making method of high deep-width rate, batch production of planar windings with LIGA process and silicon deep etching process is researched in the thesis.

  较深入地研究了以LIGA工艺、硅深刻蚀工艺为主的平面绕阻的高深宽比、批量化制作方法。

  参考来源 - 基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究

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