在闸级材料方面，近一二年则有新的金属闸(Metal Gate)，矽锗闸(SiGe-gate)等， 其中金属闸则有低阻值，无硼穿透等好处。在超浅接面及金属矽化物方面则会朝 向<500Å 深及钴金属矽化物制程。
基于1个网页-相关网页
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动