... 贴装精度placement accuracy 平移偏差shifting deviation 旋转偏差rotating deviation ...
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shifting deviation
将偏差
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The deviation introduced by reference phase shifting errors on four-steps and five-steps algorithm are analyzed.
在研究相位偏移干涉测量技术基础上，重点研究了五幅算法计算精度及移相误差对计算结果的影响；
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