013 绝缘体上硅锗(SGOI)和绝缘体上锗(GOI)衬底的制造方法 [摘要] 一种制作绝缘体上锗(GOI)衬底材料的方法，提供了用此方法生产的GOI衬底材料以及能够包括...
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...代的高端硅基材料进展，SOI新材料的制备科学，SOI材料与器件特有的物理效应，绝缘体上锗硅（silicongermaniumoninsulator，SGOI）新结构和应变硅的制备科学，SOI技术的若干应用研究等。
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Copyright 2008 by 浙江大学学报(工学版)低场迁移率,台阶式埋氧,接地层(GP),自加热效应,绝缘层上硅锗(SGOI),...
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