quartz flexible servo accelerometer 石英挠性伺服加速度计
servo accelerometer 伺服加速度计 ; 伺服加速度表
quartz servo-accelerometer 石英饶性伺服加速度计
pendulous servo accelerometer 摆锤伺服加速计
Monolithic Servo Accelerometer 单片伺服加速度计
electrostatic servo accelerometer 静电伺服微加速度计
This paper gives the operation principle, the structure and the circuit system designs of the micromachined electrostatic servo accelerometer, and briefly describes its packaged sample.
本文详细介绍了微机械静电伺服加速度计的系统工作原理、结构和线路设计特点，并对其封装样品作了简要的叙述。
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