一种半导体压力传感器(semiconductor pressure sensor)。该半导体压力传感器包含有一非单晶硅基底；一可动的隔膜(diaphragm)；至少一压电电阻(piezoresistor)，设于该隔膜上；一支承构...
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A testing system for micro air pressure semiconductor sensor is constructed.
组建了一套用于半导体微气压传感器的测试系统。
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