pre epitaxial growth 外延前生长 selective epitaxial growth 选择性外延生长 ; 外延生长 ; 采用选择外延生长 ; 选择外延生长 liquid phase epitaxial growth 液相外延生长 ; 液相取向附生 ..
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...全文--深度搜 T）、STI和PMD的高深宽比工艺（high aspect ratio process,HARP）、采用选择外延生长（selective epitaxial growth,SEG）的嵌入Si Ge（pFET）和SiC（nFET）源漏技术、中端（ middle of line,MO..
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selective epitaxial growth transistor 选择性外延生长晶体管 ; 晶体管 ; 选择性磊晶生长电晶体 ; 生长晶体管
selective epitaxial growth seg 选择性外延生长
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