...奈米氧化 层(Oxide)是作为poly与边壁子(Spacer)之间的阻隔层,同时 也是轻掺杂汲极布植与源极/汲极布植屏蔽氧化层(screen oxide)。
基于16个网页-相关网页
一种栅极介电层的制造方法,其特征为:至少包括: 提供一基材; 形成一遮蔽氧化层(Screen Oxide)于该基材上; 进行一离子植入步骤,其中该离子植入步骤利用一负离子,以使得该基材带有复数个负电荷; 去除该遮蔽氧化层; 形成一...
基于12个网页-相关网页
lead-oxide screen 氧化铅靶面
应用推荐