Study on PS usied as sacrifice layer materials in MEMS.
多孔硅作为MEMS牺牲层的研究。
参考来源 - 微电子机械系统中重要材料—多孔硅的制备和应用的研究The micro-fabrication processes are studied specifically, especially the double layer wiring and sacrifice layer processes.
实验研究了微镜制作的各项工艺,重点研究了金属双层布线工艺和牺牲层工艺。
参考来源 - 静电扭转式微镜阵列研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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