...，从而得到上层薄膜并在硅平面形成一个空腔结构、多晶硅梁、甚至可动部件， 去除的部分薄膜称之为“牺牲层”（Sacrifical Layer）。
基于8个网页-相关网页
sacrifical layer
牺牲层
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动