本文研究了热载流子可靠性的影响，从远程等离子渗氮的氧化物（RPNO），氘退火和口袋里植入物。据发现，通过使相同的物理厚度的氧化物的有效的氧化层的厚度更薄，RPNO可以提高热载流子可靠性。
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