浅谈纳晶硅镶嵌二氧化硅薄膜及其发光性质研究 -建筑科学与工程、电力工业-论文中国 本论文选择纳晶硅镶嵌二氧化硅薄膜为研究对象,研究了纳晶硅镶嵌二氧化硅薄膜的制备工艺、结构和发光特性。我们利用反应脉冲激光沉积(reactive pulsed laser deposition,RPLD)法继而高温退火成功制备得到纳晶硅镶嵌二氧化硅薄膜,并在室温下观察到了很强的纳晶硅的特征光致发光。纳晶
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... 利用紫外线辅助来改进 ( UVPLD) , 这和常规的 PLD 相比, 只需较低的沉积 温度; M Gai di等[7 ] 采用反应激光脉冲沉积法 ( RPLD) ,得到低损耗的BST 铁电薄膜。 2.
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我们利用反应脉冲激光沉积(reactive pulsed laser deposition,RPLD)法继而高温退火成功制备得到纳晶硅镶嵌二氧化硅薄膜,并在室温下观察到了很强的纳晶硅的特征光致发光。
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