本机的基板 holder 为一特殊设计之天体旋转式基板座 (rotating planetary substrate carousel),可装 3 吋晶圆 6 片，或 4 吋晶圆 6 片，或 6 吋晶圆 3 片。基板座可加温至 200℃。
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rotating planetary substrate carousel
旋转的行星基板旋转木马
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