【rf-pecvd】什么意思_英语rf-pecvd的翻译_音标_读音_用法_例句_在线翻译

rf-pecvd

沉积

采用射频等离子体化学增强型气相沉积(rF-PECVD)法沉积了掺氮氟化非晶碳膜.研究了不同射频功率下薄膜样品表面形貌及I-U特性,比较了试样I-U曲线的对称性及零点漂移;分析了直接沉积...

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气相沉积法

采用等离子增强型化学气相沉积法(RF-PECVD),源气体为NH3/SiH4/N2的混合气体,在330℃的温度下沉积a-SiNx∶H薄膜。

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积法

...备氮化硅薄膜主要有等离子增强型化学气相淀积法(PECVD)、低压化学气相淀积法(LPCVD)、射频等离子增强型化学气相淀积法(RF-PECVD)、光化学气相淀积法(光CVD)等等。等离子增强型化学气相淀积(PECVD)是目前较为理想和重要的氮化硅薄膜制备方法。

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短语

rf PECVD 射频PECVD

DC-RF-PECVD 直流射频等离子增强化学气相沉积

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化学

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Silicon nitride thin films were prepared onto steel substrates by radio-frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (RF-PECVD) technique.

采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF - PECVD)在钢衬底上沉积氮化硅薄膜。

youdao

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