摘 要: 讨论了光学光刻技术的各种分辨力增强技术(RETs),根据各类光刻设备的开发进展,探讨了光学光刻技术的加工极限。
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就当今主流的集成电路制造技术而言,光刻分辨率增强技术(ResolutionEnhancement Techniques,RETs)使得制造比光刻所用光源波长小两到三倍的特征尺寸成为可能,现在193nm波长的光源被用来生产65nm工...
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Reference Rets 参考集
rets fan 最佳球迷
rets dommer 最佳裁判
rets SAS Liga-spiller 最佳丹超球员
以上来源于: WordNet
V to moisten or soak (flax, hemp, jute, etc) to promote bacterial action in order to facilitate separation of the fibres from the woody tissue by beating (亚麻、黄麻、棕榈等)浸水使柔软
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