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...统中采用了表1所示的 后期处理：（1）去除保持器中GF成分来避免出现 GF划伤；（2）在MoS2靶材中混入含氟稀土元素 化合物（REMF）和Au来提高MoS：膜的耐磨损能 力；（3）在球表面以离子镀沉积TiN复合膜来提 高钢球的耐划伤能力。
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