在该技术中，纳米结构体中的Mueller矩阵，表示所有的偏振特性的样品通过使用严格耦合波分析（RCWA）的实验测量值和计算值确定。椭偏法的基础上比传统的散射仪，此技术是更为有用的，因为它能够的试样，以确定总的偏振特性。
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采用严格耦合波理论(RCWA),模拟计算了p偏振光入射具有高占空比的透射式金属光栅,金属表面等离子体激发和入射光会发生共振耦合,使入射光以极高的效率选择性...
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严格耦合波分析法（RCWA）是该理论的基础。RCWA在一维情况下得到完美的实现,但对二维光栅,则存在衍射展开阶次高,收敛慢的缺陷。
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严格耦合波分析法(RCWA)是该理论的基础。RCWA在一维情况下得到完美的实现,但对二维光栅,则存在衍射展开阶次高,收敛慢的缺陷。
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