...一样独特的测量与分析技术，同时增加了光致发光（PL）检测器用来测量样品的PL寿命及掺杂情况。该系统采用的是准稳态光电导(QSSPC)寿命测量方法及瞬态光电导衰退(PCD)寿命测量方法，同时还补充采用了校准后的PL寿命测量方法。
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The characterization of SiN thin films was studied by spectral ellipsometry, reflection spectra, infrared absorption spectroscopy (IR) and quasi-steady state photoconductance (QSSPC) measurements.
利用椭圆偏振光谱、反射谱、红外吸收谱和准稳态光电导（QSSPC）分析了氮化硅薄膜的特性。
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