用于OLED（有机物发光二极管）等有机电子领域的薄膜沉积技术，包括聚合物气相沉积（PVPD）和有机物气相沉积（OVPD）；用于薄膜封装的等离子增强化学气相沉积（PECVD）技术，同时PECVD技术还被应用于沉积复杂的碳纳米结构...
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