如此的做法可设计出较短的通道,而不会产生任何与贯穿效应 (punch-through effect) 相关的问题。在连接至源极植入区域的浅沟槽中,会执行源极接触。
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... (一)冲孔;(二)冲床;冲孔机 punch 冲穿效应 punch-through effect 远点 punctum remotum ...
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穿透效应
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参考来源 - ALICE/PHOS读出单元PIN的研制与在束性能检验
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穿效应
穿通效应
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