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proximity printing

  • 接近式曝光，近阶曝光

网络释义专业释义

  接近式曝光

接近式曝光（Proximity Printing）: 掩膜板与光刻胶基底层保留一个微小的缝隙（Gap），Gap大约为0～200μm。

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短语

optical proximity printing 光学接近复印

  • 接近式曝光

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