定义 中文名称： 择优腐蚀 英文名称： preferential etching 定义： 沿着特定的结晶学平面，呈现腐蚀速率加快的腐蚀方法。 应用学科： 材料科学技术（一级学科）； 半导体材料（二级学科）；元素半导体材料（二级学科）
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... 优先方向 preferential direction 优先侵蚀 preferential etching 从优轴 preferred axis ...
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