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gas precursor 气态前体物
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The experiment results indicate that the moisture-resistance capability of SiC x film was mostly influenced by RF frequency and precursor gas flow ratio. It was also found that t…
实验发现，射频频率的变化对碳化硅薄膜的防水汽扩散能力影响最大，气体流量比次之，而功率和气体压力的变化影响较小。
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