• 精密工作台 - 引用次数：4

  The paper comprehensively applies system modeling, emulation, virtual prototype and other knowledge. It is very important that research the macro-micro dual drive precision stage in photo electricity detecting laboratory.

  本文综合运用了建模与仿真、虚拟样机技术等知识,对光电检测实验室的宏微双重驱动精密工作台整体研究有重要意义。

  参考来源 - 工作台微定位特性分析及误差补偿研究
  精密工件台
• 精密工作台 - 引用次数：8

  High acceleration movements of a precision stage result in reaction forces that lead to mechanical resonance in the stage,which reduces the tracking accuracy and lengthens the positioning time.

  精密工作台高加减速的运动反力作用于机台上,会引起机台机械共振,使轨迹跟踪精度降低、定位建立时间加长,针对这一问题,提出了基于精密工作台振动模型,采用极点配置、模型参数匹配的方法设计P ID控制器。

  参考来源 - 基于振动模型的精密工作台运动控制
• 精密工作平台
  精密工件台

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