应用X射线衍射仪（XRD）、透射电子显微镜（TEM）、原子力显微镜（AFM）、铁电测试仪（Precision LC unit）和LCR表研究了薄膜样品的微观结构、表面形貌、不同层间的界面、电容器的铁电性能以及 退火工艺对Pt/LSCO/PZT/LSCO/Ti–Al/Si电容...
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precision lc unit
精密lc单元
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