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postexposure bake

  • 曝光后烘烤：在光刻过程中，曝光后对光刻胶进行的热处理过程，以提高光刻胶的抗刻蚀性能。

网络释义专业释义

  曝光后烘烤

其中前烘（postapply bake,pab）、曝光后烘烤（postexposure bake,peb）和显影是三个重要环节，每一步的工艺控制都能不同程度地影响曝光图形的分辨率。

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  • 曝光后烘烤
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